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氩气纯化装置

产品参数/ Product parameter

高纯氩气纯化设备

一、概述

氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气体,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求,赢得客户的满意和市场的需求。

由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,使用氩气的客户不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。

一般氧含量小于0.5ppm,水分小于1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体的质量是有确保的。

二、关于氩气纯化的方法


        第一种直接脱氧法:就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸取掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。

   

第二种:是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸取氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸取处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。


利用吸气剂纯化后氩气的纯度:

O2≤0.2ppm

H2≤0.5ppm

N2≤1ppm

CO+CO2≤0.5ppm

CH4≤0.5ppm

水份≤1ppm

第一种方法设备投资小,设备中脱氧剂的使用寿命一般大于两年。

第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大,吸气剂使用寿命为一年。


用途:

一种稀有气体,用作电弧焊接(切割)不锈钢、镁、铝、和其它合金的保护气体。还用于钢铁、铝、钛和锆的冶炼中。放电时氩发出紫色辉光,又用于照明技术和填充日光灯、光电管、照明管等。

在酿酒的过程中,啤酒桶里的填充物,它可以把氧气置换,以避免啤酒桶里的原料被氧化成乙酸。

热处理工艺也用于代替氮气和氨气,效果更是超过氮气和氨气,不锈钢热处理时采用氩气保护折弯效果更好不易断裂。

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